排。”
为什么说157纳米是困难的,因为波长在193纳米的时候,光刻机镜头的孔径已经做到了0.93,这一技术的极限就是90纳米制程,要想更进一步,光源必须要更短的波长。
而业内找到的波长为157纳米的光,存在很多问题,穿透率低,只有很少可用的介质,比如说单结晶的二氟化钙,这种材料去做镜头的问题在于很难制造20-30公分大小的完美结晶。
还有像空气中的氧气会吸收157纳米的光,光经过的整个路径必须只有氮气,造成很多不便,会增加制造的成本,而且一旦出现意外漏出太多氮气会有致命危险。
157纳米的光存在非常多非常多要被克服的问题,林本坚则发现通过湿法可以不用换光源,作为基督徒的他愈发觉得这是上天的安排。
也正是因为他认为这是上天的安排,才想要赌上一把。
当然听到周新几乎是下意识说出水,林本坚内心感慨天才不愧是天才,有着野兽一般的直觉。
周新说:“我认为没有问题,我会支持你的,这一技术路线你有没有和外界透露过?”
林本坚摇头:“目前还没有,我不确定这一技术路线能行,另外里面一些关键的技术专利我们要进行注册,注册之后在做尝试的时候去争取蔡司支持可能需要发表一些文章。”
周新问:“我们能不能尽可能低调,无论是蔡司还是其他厂商,我们可不可以通过钱来解决?
说白了我们开价,他们提供服务,比如说他们配合我们制造符合我们要求的元器件,我们开出更高的价格,新芯别的都缺,唯独不缺钱。”
台积电之所以会和ASML联合,是因为飞利浦是台积电的股东之一,ASML最早就是飞利浦的一个部门。
林本坚说:“我们可以说服蔡司,蔡司只认钱,只要我们开的价码足够高,我们想要什么效果,他们就能做什么效果出来。”
周新心想,还是这种只认钱的厂商好,因为我穷的只剩下钱了。
“好,因为我们在制程工艺上落后其他尼康佳能,我们要实现突破,必须尽可能低调。
我们肯定是没办法让他们不知道,因为涉及到这么多合作伙伴,但是在有阶段性成果之前,不对外做任何宣传。”
周新定下基调,林本坚点头:“只是零星消息的透露,他们是不可能改变技术路线的。
要知道像尼康已经在干式光刻机上投入了7亿美元的研发费用