示波器?”
刘焱疑惑的摇摇头,说道:
“芯片生产区域没有,隔壁封装测试区域那边有几台测试芯片用的示波器。廉教授,你要示波器做什么用?”
廉安平推了下鼻廉上的老花镜,说道:
“我想用示波器测试一下电源,看看有没有噪声和尖峰干扰。刚刚已经测试过空气了,灰尘含量并不超标。排除了空气问题,剩下的多半是电源的问题了。”
蒙小刚一拍额头,恍然道:
“原来如此,我早该想到的,每一道工序都有瑕疵,那就只能是大环境的影响,不是空气不合格,磁场不正常,就是电源干扰太多。
而刚刚老师已经测试过空气了,证明不是空气问题,深镇这里又从来没有过地磁异常报告,也没有大型铁矿之类的能干扰磁场的矿藏,那就只能是电源的问题了。”
廉安平赞许的点点头,说道:
“就是这个道理,至于这个猜测对不对,测试一下就知道了。”
刘焱去隔壁封装测试车间,搬了一台示波器过来,然后带着其他三人,来到位于无尘车间一角的配电室,对电源做了一番测试。
廉安平指着示波器上锯齿状的曲线边缘,说道:
“果然被我猜对了,你们这个电子产业园的变压器上,连接了太多的工厂,有非常大的杂波干扰。
如果是一般用电器,像是普通电机、电炉等,是没什么影响的。
但芯片生产线上的设备太精密了,任何电源上的杂波干扰,都会影响设备的正常运行状态。
电源杂波对一道工序的影响,或许只是让晶圆加工过程出现一点瑕疵,几十道工序累加起来,一整张晶圆就全部废掉了。”
刘焱皱起眉头,问道:
“现在,知道是电源的问题了,那要如何解决呢,换个变压器,还是安装一个交流稳压器就能解决?”
廉平安断开电源,一边拆下示波器的连接线路,一边说道:
“用稳压器只能滤除低频波纹,对高频波纹和尖峰的作用有限。我建议你们联系一下电力部门,给这家晶圆工厂单独安装一台变压器。
如果能从高压变电站,单独拉一条高压线过来,那就更好了。”
找到了问题所在,刘焱立刻行动了起来,他回到办公室,给FT镇电管局打了个电话,将这里的情况说了一下。
刘焱港商的身份还是很好用的,电管局马上就安排工作人员,拉着一台