的老板，你们先去吃饭吧，厂房这里就交给我了。”
和蒙小刚打过招呼后，刘焱三人向车间入口方向走去，只是走到半途，路过光刻机的时候，廉安平教授不由自主的放慢脚步，停了下来。
刘焱和廉雪梅都走出几十米了，才发现旁边少了一个人，往后一看，廉安平老教授正站在光刻机的旁边，一双眼睛透过老花镜，一眨不眨的盯着正在运转中的光刻机。
刘焱和廉雪梅转身走回到廉安平身边，只听到他在那里不断的喃喃自语：
“这是东瀛J能公司生产的商用一微米光刻机，如果采用多重曝光加工方式，最多能生产出0.7微米的芯片，可惜这条生产线的其他设备都是按照一微米标准配置的，继续改造的潜力不大。
啧啧啧，工作起来真是稳定，一点噪音都没有，加工速度也非常快，要是能拆开看看内部构造就好了，没准能原样仿制出来。”
廉雪梅撇撇嘴，说道：
“爷爷，你想什么美事呢，就算刘老板舍得让你拆开测绘，你们半导体研究所，也没足够的研发资金来仿制这台光刻机。”
廉安平无奈的叹口气，说道：
“你说的对，研究所那点拨款，也就刚刚够发工资的，根本拿不出余钱来立项，研发新产品。”
听完他们祖孙俩的对话，刘焱却是双眼一亮，插话进来说道：
“廉教授，如果我们维创电子公司愿意提供研发资金，和样品光刻机，你们Z科院能不能出研发团队，咱们共同研发一微米国产光刻机。如果能研发成功，产品量产之后，获得的利益可以平分。”
廉安平教授沉吟一下，然后说道：
“你这个提议很好，我们Z科院以前也和一些国营企业，合作研发过项目。但和外资企业合作，此前从没有搞过，我一个人也做不了决定，只能把你的提议提交上去，让研究所那边开会做决定。”
廉雪梅有些疑惑的看向刘焱，问道：
“刘老板，这台光刻机你们晶圆工厂这里不是还要使用吗，如何能拿出来拆解研究？像这种拆解测绘，必须拆成最小的零件，然后一个一个的测量绘图，没几个月的时间，肯定完不成。而且光刻机这么精密的设备，拆解之后，很可能装不回去，就算全部装回去了，加工精度也很难保证达到原来的水平。”
刘焱微笑一下，说道：
“这个你们无需担心，我不会动这条芯片生产线的。一微米光刻机又不贵，再买一台一样的，拿给