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第二十一章 真空镀膜(下)(2 / 4)

可以正常工作,约需要耗时10分钟。

待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉的升温控制装置。

装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为27和30摄氏度。

他打开设定界面。

这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。

还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序:

SP130

RATE30

TIME60

SP2400

RATE30

TIME3

SP3520

RATE20

TIME100

第一阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度,等待60分钟;

第二阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度,等待3分钟;

第三阶段,以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度,等待100分钟。

确认无误后,他长按启动键,启动程序。

升温程序需要跑一个多小时。

在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级,从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。

分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时,采用超真空挡板阀,阻隔分子泵和蒸镀舱连接;当压力低于20帕时将其关闭,再使分子泵和蒸镀舱连通。

分子泵启动后,还需要较长的时间,才能使蒸镀舱内压强达到1E-5级别。

这个时间在半小时至一个半小时之间。

如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度,通常有两种情况。

一种是体系气密性不好,比如在关舱门时,门缝处夹了一个塑料袋;

另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多,需要清理。”

虽然系统里也有影像资料供许秋学习,但他觉得还是听学姐讲解更好一些。

主要是两个人站一起,一直不互动也蛮尴尬的。

……

一小时后。

真空计示数达到5.2E-5帕,升温程序

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