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第二十八章 主动加班(3 / 3)

现有的积分也不足以再次兑换。

没有了系统的实时指导,许秋只能只能凭借脑海中的记忆,自行摸索条件。

第一次,他像正常旋涂操作那样,将移液枪垂直于基片,直接喷涂,最终在薄膜的中央形成了一个大洞。

第二次,他将移液枪斜着喷涂,结果操作过程中手抖了一下,最终薄膜上出现了明显的分层。

两次实验失败后,许秋决定先用玻璃片代替ITO基片试试手感。

喷涂法比较节省溶液,1毫升溶液可以喷涂40次以上,而旋涂只能15次左右,所以也不怕浪费。

他使用上次剩下的溶液,经过十几次的练习后,终于总结出了操作诀窍:

先将移液枪头从中间剪断,吸取20微升溶液,按下匀胶机的启动键;

然后在枪头距离基片约5厘米的地方,瞄准基片边缘,以约45度夹角,瞬间将全部溶液挤出;

整个过程中,手抖动幅度不能过大,而且溶液挤出的速度一定要快。

数了下剩余基片数量:一共24片基片,用掉了17片,还剩下7片。

许秋思索片刻,决定将实验组B的条件变更为:

氯仿(10毫克每毫升,1:1)、氯苯(16毫克每毫升,1:1)、二氯苯(20毫克每毫升,1:1);转速1000、1200、1500;喷涂法。

这样,刚好可以再用掉6片基片,还余下1片。

接下来的实验没出什么意外,许秋将旋涂完成的基片溶剂退火、热退火、擦片。

接着转移至另一手套箱,装好后,启动蒸镀装置,开始抽真空。

最后回到办公桌休息,坐等五点半。

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