因为没有参照对象,ITO的图案要许秋自己设计。
这种需要精确制图的图案,理论上要用到CAD软件,不过许秋不会CAD,便用PPT代替,反正他现在是甲方嘛。
其实,PPT的功能很强大,里面的模板也不少,许秋文章中大多数图片的后期效果都是用PPT加工的。
首先是确定基片大小,这个不适合轻易的改变,许秋决定还是用一平方英寸,也就是大约2.54厘米的正方形基片,他直接在PPT里面拉出来一个边长为2.54厘米的正方形。
然后是中央的图案,圆形和正方形是比较容易想到的简单图案。
许秋考虑了一会儿,决定采用圆形,虽然基片是正方形的,而且之前交叠法得到0.04、0.09平方厘米图案也是正方形的,但旋涂的过程中,近似于溶液从基片中心向周边成膜,圆形边界上有效层的厚度、性质比较接近。
当然,这个理由有些弱,其实主要的原因是许秋单纯觉得圆形比较好看……
科研工作者很多时候是可以比较任性的决定一些事情,就像陈婉清之前把她的材料命名为C4、CH3、CH4一样。
接下来,是确定有效面积的大小。
许秋一拍脑门,先按照一平方厘米计算,这时圆形的不方便之处就体现出来了,如果是正方形,哪怕是小学生也可以计算出边长是一厘米。
按了几下计算器,许秋得到半径大约是0.56厘米,那么直径就是1.12厘米,基片边长是2.54厘米左右,显然中间的圆有些小了。
于是,他继续加大面积至两平方厘米,此时半径变为0.80厘米,这个就比较合适。
许秋首先绘制了一个半径为0.80厘米的圆,并将其挪动到正方形的中央,然后在正方形下端加上一个0.30厘米宽,2.54厘米长的长方形,作为ITO电极连接点,最后,用一根宽度为0.10厘米的细线连接中央圆形和侧边的长方形电极。
就是一个圆加一个倒T的形状,有一点像是地球仪的样子。
在侧面标注好各图案的长度,ITO基片图案便设计完成。
最后,许秋开始设计掩膜版,这个就比较容易了,他直接制作长宽分别为2.54厘米和2.10厘米的长方形,然后按照之前掩膜版的样式,复制出25个,形成5*5的阵列。
许秋在心中模拟了一下器件制备过程,通过掩膜版,可以在器件上蒸镀金属电极