够扩容的土地对于大恒来说很重要。
林良加入讨论:“老板,你让我沟通的GCA,他们答应给我们定制前道和后道光刻机,至于入股之事,他们要等我们的晶圆厂投产之后才会考虑。”
“这样啊......准分子激光光源生产商呢?”张恒追问。
“通过咨询公司,我找到了两家业界小有名气的公司,一家是LambdaPhysik,另一家是GSI,前者经营纺织品印染辅助设备,后者专门为出版社服务,前者对我们的参股意向表示欢迎,他们的光源还未曾在IC制造中使用过。”
“老板,你觉得准分子激光器可能会代替汞灯?”霍尔尼敏锐地提出了疑问。
“如果摩尔的语言是准确的,IC必将愈来愈小型化,成本控制也相应会要求更高,对于光源的要求自然会越来越高,在这两方面,准分子激光器具有很大潜力。”
集成电路(IC)要在单片晶圆(硅片)上构建众多的电子元件(主要是CMOS管),而这些元件的各个部分,比如P结,N结,栅极,等等,需要通过光刻逐层构建。
工厂依照确定的集成电路版图制造掩膜,然后使用光刻机将掩膜投影到已经涂了抗蚀剂的晶圆上,使得抗蚀剂曝光,之后对曝光过的抗蚀剂进行显像,对随后对晶圆进行化学蚀刻,然后用物理方法去除蚀刻部分,留下来的就形成所需的元件。
整个过程就像照相,一个人通过光学镜头的处理,在底片上留下痕迹,通过化学药水分批清洗,就可以从底片上显露人的形象。
所以光刻机是决定集成电路尺寸的主要因素,它能给你曝光到多少量级,集成电路就能够做到多少尺寸。
光刻机的光源自然也是其最重要的核心部件。
目前硅谷晶圆厂使用的大都是投影式光刻机,采用汞灯作为光源,汞灯的缺点是光谱线太高,成本也高,而且投影式方式下光刻机镜头无法移动,在同等光源下,能够曝光的集成电路容量有限。
张恒为何要关注GCA这家还不算太出名的小公司,因为这家公司在1978年研制出了史上第一台步进式光刻机,大大扩展了集成电路的容量。
通俗点说,投影式一次只能拍一张照,可以移动的步进式一次至少可以拍两张照甚至还要更多,得到的影像当然要大得多。
“既然GCA暂时不同意入股,那价格上也就不需要太客气,你好好和他们砍吧。”张恒做了决定,GCA他是志在必得,但是并不紧